薄膜沉积系统

功能

• 物理气相沉积薄膜（热和溅射）：金属、合金、氧化物
• 用石英晶体传感器精确控制薄膜厚度
• 在高真空中进行，以提高薄膜的纯度
• 应用：用于腐蚀研究的定义良好的平面金属薄膜，界面相互作用的研究，以及保护性聚合物涂层，沉积在各种类型的基材上，包括聚合物

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