扫描俄歇纳米探针（SAN）

功能

• 俄歇电子能谱是导电样品表面分析中应用最广泛的技术。提供样品的前十个原子层的元素信息
• 具有独特的高分辨率扫描电镜成像能力，结合了俄歇元素分析和纳米范围内的测绘。元素深度剖面是该系统的一个明显优势
• 应用：薄膜和界面组成，失效分析，金属和合金的结合状态信息，界面边界（合金和涂层）分析，减少摩擦的材料，薄膜中的横向成分均匀性

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